Theo dữ liệu từ công ty tư vấn TechInsights, thiết bị chế tạo wafer (tấm bán dẫn silicon) sản xuất trong nước chỉ chiếm 11,3% tổng lượng mua của Trung Quốc trong năm 2024.
Tuy nhiên, con số này đã tăng so với mức 5,1% trong năm 2020, thời điểm Mỹ bắt đầu hạn chế xuất khẩu trong lĩnh vực chip, thúc đẩy Trung Quốc rót thêm hàng tỷ USD vào ngành sản xuất chip trong nước.
Trong hai năm qua, Trung Quốc là khách hàng mua thiết bị chế tạo tấm wafer lớn nhất thế giới. Theo TechInsights, vào năm 2024, nước này đã chi 41 tỷ USD cho các công cụ này, chiếm 40% doanh số toàn cầu.
ASML của Hà Lan là nhà sản xuất duy nhất trên thế giới cung cấp các hệ thống quang khắc (lithography) tiên tiến nhất, dùng để tạo ra các vi mạch trên đế bán dẫn. Tuy nhiên, kể từ năm 2019, Mỹ đã ngăn chặn ASML bán các máy quang khắc tia cực tím (EUV) cho Trung Quốc.
Điều này buộc các công ty Trung Quốc phải nhập khẩu các hệ thống quang khắc tia cực tím sâu (DUV) kém tinh vi hơn để sản xuất chip 7nm. Năm 2024, Mỹ cũng đã từ chối cho Trung Quốc tiếp cận các máy DUV nhúng tiên tiến của ASML.
SiCarrier, một nhà sản xuất thiết bị chip Trung Quốc có quan hệ mật thiết với Huawei, đang gây xôn xao với kế hoạch phát triển một loạt sản phẩm đa dạng.
Hãng này đang nỗ lực trở thành nơi cung cấp mọi công cụ cần thiết cho ngành bán dẫn trong nước. Điều này cho thấy các lĩnh vực này nỗ lực giảm sự phụ thuộc vào các nhà cung cấp nước ngoài.
Các bằng sáng chế của SiCarrier cho thấy họ đang nghiên cứu các hệ thống quang khắc DUV, nhưng công ty này vẫn chưa ra mắt sản phẩm cụ thể.
Một dây chuyền sản xuất bán dẫn tiên tiến cần hơn 3.000 công cụ khác nhau, bao gồm tạo mẫu, xử lý và kiểm tra. Theo công ty tư vấn IDC, tỷ lệ tự chủ của Trung Quốc đối với các thiết bị có khả năng sản xuất chip từ 7nm trở xuống vẫn dưới 10%.
Theo Galen Zeng, nhà phân tích bán dẫn cấp cao tại IDC, tỷ lệ tự chủ của Trung Quốc đối với thiết bị dùng trong quy trình loại bỏ cản quang (photo-resist removal) và làm sạch đã đạt 50%.
Naura và ACM Research Shanghai là một trong số các nhà cung cấp nội địa những công cụ này. Naura sở hữu danh mục sản phẩm rộng nhất, bao gồm thiết bị lắng đọng (tạo lớp màng mỏng trên phiến silicon), khắc khô, cũng như xử lý nhiệt và làm sạch. Doanh thu của hãng đạt 29,8 tỷ NDT (4,1 tỷ USD) trong năm 2024, gấp năm lần so với năm 2020.
